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定制xy移動隔振平臺
定制xy移動隔振平臺
臺面尺寸：定制的大理石臺面，形狀及尺寸
? 低固有頻率膜式空氣彈簧 垂直方向固有頻率：2.0 HZ 水平方向固有頻率：1.5 HZ
? 高精密高度閥與水平控制器
? 用途：光學、半導體加工及測量平臺
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定制xy移動隔振平臺
臺面尺寸：定制的大理石臺面，形狀及尺寸
? 低固有頻率膜式空氣彈簧 垂直方向固有頻率：2.0 HZ 水平方向固有頻率：1.5 HZ
? 高精密高度閥與水平控制器
? 用途：光學、半導體加工及測量平臺
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